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对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。提出了实施自动调整的方法。
电子束自动对准、自动调焦、自动消像散的物理研究
【摘 要】
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对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。提出了实施自动调整的方法。
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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