【摘 要】
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本文报道了一种分子级真空气相Parylene涂敷设备的研制.该分子级真空气相沉积设备采用先进的计算机智能控制器技术,对蒸发温度、裂解温度合、真空和Parylene气流进行精密的互
【机 构】
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西南应用磁学研究所(四川省绵阳市)
【出 处】
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第六届国内外磁学与磁性材料发展及应用技术交流会
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本文报道了一种分子级真空气相Parylene涂敷设备的研制.该分子级真空气相沉积设备采用先进的计算机智能控制器技术,对蒸发温度、裂解温度合、真空和Parylene气流进行精密的互锁控制.Parylene原料通过蒸发室蒸发后,在裂解室的高温下裂解为单分子气体,然后在沉积室内形成稳定旋转单分子Parylene气流层,旋转的Parylene气流自由地在需保护的材料表面沉积,在室温下聚合为对二甲苯聚合物大分子,并实现对钕铁硼磁体和铁氧体磁芯的表面改性,大大地提高了磁性材料的防潮、防腐、防盐雾、耐压和润滑的能力.
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