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技术创新效率的高低决定了高技术产业能否长期可持续发展。本文通过因子分析定权法分别对2005、2006及2008年辽宁省高技术产业11个行业的技术创新效率进行了测算，旨在把握辽宁省高技术产业的发展现状，为政府今后制定有效的产业发展政策提供科学的理论参考。研究结果显示技术创新投入多的行业，反之技术创新效率相对较低，并且随着各行业的发展，技术创新投入都有增加的倾向，但是技术创新效率相对在减小。这些研究结果表明对技术创新投入多、技术创新效率相对较低的行业，今后应进一步增强其技术创新的产出能力。同时也揭示了高技术产业的发展轨道如S曲线，当产业发展经过快速成长阶段以后，及时地采取产业升级创新政策很关键。