【摘 要】
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三维异质异构集成是通过多学科多专业融合系统设计和微纳集成制造工艺,实现不同材料、不同结构、不同功能元件的一体化三维集成。在可以预见的未来,三维异质异构集成技术是功
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三维异质异构集成是通过多学科多专业融合系统设计和微纳集成制造工艺,实现不同材料、不同结构、不同功能元件的一体化三维集成。在可以预见的未来,三维异质异构集成技术是功能、性能、周期、成本综合平衡下系统的最优实现方案。目前美国、欧洲等国家和地区的研究机构在三维异质异构集成领域不断取得技术突破并逐渐进入产品化应用阶段,具有一定技术优势。国内在三维异质异构集成以其高性能、高密度、低成本等突出优势将广泛应用于物联网智能城市、车联网智慧交通、综合治理安全、网络信息安全、5G通信等产业,并将支撑人工智能、可穿戴、智能医疗、智能服务机器人等智能硬件的生态发展。
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