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近年来隧道结无论是作为读出磁头、各类传感器,还是作为磁随机存储器,都具有明显的优势,其应用前景十分看好,引起世界各国军事科学家的高度重视.有研究表明,在退火过程中顶电极层与自由铁磁层的层间扩散对MTJ的TMR 效应有较大影响.
顶电极层(Ta)与自由铁磁层(FeCoB)在退火过程中层间扩散对隧道结磁电阻效应的影响
【摘 要】
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近年来隧道结无论是作为读出磁头、各类传感器,还是作为磁随机存储器,都具有明显的优势,其应用前景十分看好,引起世界各国军事科学家的高度重视.有研究表明,在退火过程中顶电极层与自由铁磁层的层间扩散对MTJ的TMR 效应有较大影响.
【机 构】
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西南应用磁学研究所,四川绵阳 621000
【出 处】
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第十六届全国磁学和磁性材料会议暨第十七届全国微波磁学会议
【发表日期】
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2015年11期
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