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硅衬底上无微裂稀反极性畴AlN薄膜的分子束外延研究
【机 构】
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清华信息科学与技术国家实验室(筹)清华大学电子工程系 北京 100084
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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