【摘 要】
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当执行器尺寸达到纳米数量级的时候,Casimir力的作用不容忽视,本文分别通过力法推导出了当极板仅受到静电力作用情况下的Pull-in参数值,并在此基础上推导出了系统受到静电力
【机 构】
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南京邮电大学 电子科学与工程学院,南京 210003
【出 处】
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中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会
论文部分内容阅读
当执行器尺寸达到纳米数量级的时候,Casimir力的作用不容忽视,本文分别通过力法推导出了当极板仅受到静电力作用情况下的Pull-in参数值,并在此基础上推导出了系统受到静电力和Casimir力共同作用时的Pull-in参数值.并将两种结果进行了对比和分析,得出了纳米级执行器受到Casimir力影响的大小范围.纳米级执行器考虑了Casimir力作用下的静态Pull-in参数和系统仅受到静电力作用的情况相比,都有所减小.
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