钇掺杂对BST薄膜材料性能的影响

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaowen51
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用溶胶-凝胶工艺在Pt/SiO<,2>/Si及石英衬底上制备钇掺杂的BST薄膜,发现掺杂浓度与薄膜的材料特性存在强的相互关系,光学带隙能随着掺杂浓度的增加而增加,但它们小于不掺杂的样品.随着掺杂浓度从1℅增加到10℅薄膜的介电常数从328减小到171.少量的钇掺杂将会提高极化值.
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