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介绍了采用多次曝光法制备细长型电火花工具电极的研究结果.比较了活动掩模法与固定掩模法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩模法更适合于多次曝光.采用相对温和的条件,得到了较好的显影、电铸结果.
细长型电火花工具电极的制作研究
【摘 要】
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介绍了采用多次曝光法制备细长型电火花工具电极的研究结果.比较了活动掩模法与固定掩模法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩模法更适合于多次曝光.采用相对温和的条件,得到了
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所(北京)
【出 处】
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2003年全国特种加工学术会议
【发表日期】
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2003年期
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