随着激光技术，特别是高强激光技术的发展，给激光薄膜带来了新的机遇和挑战，现有两类要求极高的激光薄膜元件，一类是低损耗阈值激光薄膜，其是将元件的损耗降低到10 ppm以下，在激光陀螺和极高光谱测量上有重要应用，另一类是高损伤阈值激光薄膜，其是将激光薄膜的损伤阈值提升到很高的水平，满足高功率激光发展的需要.本文主要讨论高损伤阈值激光薄膜技术.影响激光薄膜损伤阈值的关键因素主要有吸收和缺陷.在缺陷控制方面，我们采取了全流程工艺方法，将激光薄膜制作的所有工艺过程全部作为研究的内容，涉及到激光薄膜基底材料加工与检测、基底的清洗与检测、激光薄膜设计、激光薄膜制作工艺优化、激光薄膜光学性能检测与损伤阈值测量、激光薄膜后处理技术等许多方面.在吸收控制方面，解决了材料的充分氧化问题，使激光薄膜在1064 nm处的吸收小于10 ppm.在基底加工与测试方面，特别解决了镀制增透膜时必需解决的亚表面损伤的检测与控制问题.在清洗过程中，建立了半定量的清洗方法，得到了优化的清洗工艺，使清洗后每平方mm单位面积上的尺寸大于1微米的缺陷密度小于1.在薄膜制作过程中，解决了膜层材料的喷溅问题，显著降低了激光薄膜内的缺陷密度.运用人工节瘤方法，理论和实验上深入研究了激光薄膜内的节瘤缺陷尺寸与吸收与损伤阈值的定量关系，得到了相应的规律，指导了工艺控制过程.建立了扫描方式的激光损伤阈值测量方法，完成了1064 nm、533 nm、355 nm的薄膜损伤阈值测量，为工艺改进提供了重要支撑.研制的激光反射薄膜的损伤阈值已稳定达到22 J/mm2(1064 nm、3 ns)，已为国内相关单位提供使用.