【摘 要】
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目的：建立SiC合成中气相各成分的分析方法。
方法：通过3种预分离方法成功地分析测试了合成SiC过程中所产生的3类气体——氯硅烷、烃和HCl;用GC-MS法测定了氯硅烷的含量，用GC
【机 构】
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西北大学合成与天然功能分子化学教育部重点实验室,陕西西安710069
【出 处】
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第三届中国中西部地区色谱学术交流会
论文部分内容阅读
目的：建立SiC合成中气相各成分的分析方法。
方法：通过3种预分离方法成功地分析测试了合成SiC过程中所产生的3类气体——氯硅烷、烃和HCl;用GC-MS法测定了氯硅烷的含量，用GC法测定了烃的含量，用重水同位素标记GC-MS法测定了氯化氢的含量。
结果：该方法的精密度RS≤5％。加标回收率为88.5％-115％。
结论：所建立方法可应用于SiC合成中气相组分的分析。
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