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会议论文
磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究
磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究
来源 :中国微米纳米技术第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cjl11082009
【摘 要】
:
本文研究了在磁控溅射中溅射气压、溅射电压(溅射功率)与金属Au、Ta薄膜应力的关系,分析了相关的机理,给出了一种用磁控溅射法制备低应力Au、Ta薄膜的方法,就应力的产生
【作 者】
:
张龙
吴璟
卓敏
朱健
陈辰
【机 构】
:
南京电子器件研究所,南京,210016
【出 处】
:
中国微米纳米技术第七届学术年会
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
磁控溅射
溅射制备
低应力金属膜
溅射气压
溅射功率
溅射电压
产生因素
薄膜应力
机理
方法
法制
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本文研究了在磁控溅射中溅射气压、溅射电压(溅射功率)与金属Au、Ta薄膜应力的关系,分析了相关的机理,给出了一种用磁控溅射法制备低应力Au、Ta薄膜的方法,就应力的产生因素作了一些探讨.
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