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1.引言在真空工程技术的应用中以及我们以往承制的真空项目里,客户对检漏技术和四极质谱计的应用技术提出了更多的要求,为了获得更高的极限真空度,就要研究如何使真空系统的漏放气率更小以及如何减小材料的放气率.我们作为真空设备的承制方,客户提出的要求有:1.在真空漏孔的校准中提出了延伸流量校准下限的要求.2.在真空材料放气率的测试中提出了应用四极质谱计检测系统,对本底放气率和不同温度下的分压力测量.