单模低发散角光子晶体垂直腔面发射激光器

来源 :第十七届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingqiu12157
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垂直腔面发射激光器(VCSEL)广泛应用于光通信、光互联、激光打印、环境检测、原子钟、激光鼠标等领域。然而这些应用要求vCSEL单模工作。目前,实现单模VCSEL方法有多种,如缩小氧化孔径、表面刻蚀结构、反波导结构、三角孔状结构和光子晶体波导结构。然而由于前四种方法需要精确控制或者二次外延工艺,可重复性差。本文研究了光子晶体波导的特性,发现其是弱折射率导引的波导。弱折射率导引的光子晶体波导不仅实现了VCSEL单横模工作,而且有效地减小了VCSEL的发散角。
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