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新兴半导体材料及其应用展望
【机 构】
:
电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
【出 处】
:
无机非金属材料高层论坛暨第7届无机非金属材料专题——先进电子材料研讨会
【发表日期】
:
2015年期
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