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该文针对薄膜混合集成电路生产中的激光调阻，从切割电阻的方式和激光参数的设计等方面，介绍如何提高其工艺水平。
激光调值技术
【摘 要】
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该文针对薄膜混合集成电路生产中的激光调阻，从切割电阻的方式和激光参数的设计等方面，介绍如何提高其工艺水平。
【机 构】
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市半导体器件一厂
【出 处】
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第九届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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1995年期
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