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会议论文
激光调值技术
激光调值技术
来源 :第九届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:magiciany
【摘 要】
:
该文针对薄膜混合集成电路生产中的激光调阻,从切割电阻的方式和激光参数的设计等方面,介绍如何提高其工艺水平。
【作 者】
:
杨建新
【机 构】
:
市半导体器件一厂
【出 处】
:
第九届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
1995年期
【关键词】
:
激光调阻
调值
集成电路生产
激光参数
工艺水平
设计
切割
电阻
薄膜
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该文针对薄膜混合集成电路生产中的激光调阻,从切割电阻的方式和激光参数的设计等方面,介绍如何提高其工艺水平。
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