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在12.5μm厚的聚脂薄膜基片上，用真空镀铝及光刻工艺制作了亚毫米波极化器，并组装成March—Zchnoder极化干涉仪，极化双工器及单向器，在工作波长337μm下对各部件进行了性能测试，并用于介质特性测量。（本刊录）
亚毫米波准光元部件的研制
【摘 要】
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在12.5μm厚的聚脂薄膜基片上，用真空镀铝及光刻工艺制作了亚毫米波极化器，并组装成March—Zchnoder极化干涉仪，极化双工器及单向器，在工作波长337μm下对各部件进行了性能测试，并
【机 构】
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中山大学
【出 处】
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第三届全国毫米波、亚毫米波会议
【发表日期】
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1986年期
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