单频激光干涉仪条纹的偏振移相细分技术

来源 :2009年全国几何量精密测量技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ljq529632883
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提出了一种用于单频激光干涉仪条纹细分的偏振移相技术。通过偏振分光镜、波片等光学元器件产生四路依次相差90°相位的激光干涉信号,经过硬件电路的整形、放大和比较后,可以解决常见的光强“零漂”问题。共光路设计有效地消除了由于环境因素给测量带来的误差,提高了干涉系统的稳定性和重复性。移相技术不仅充分地利用光能量,而且四路信号更便于干涉条纹的计数和判向,同时为电子细分技术奠定了基础。
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