【摘 要】
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石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式
【机 构】
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测控仪表事业部,航天长征火箭技术有限公司(中国北京)
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石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式石英微机械陀螺的设计,通过石英各项异性腐蚀工艺予以实现,并对其进行了性能实验.本文简要阐述了零位漂移误差的基本内容及分析结果,提出了进一步改进的方向.
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