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亚毫米波平面集成天线在亚毫米波频段具有其独特的优势，然而平面集成天线单元的增益较低，本文研究了一种工作于900GHz的新型的亚毫米波集成喇叭天线，用于增强平面集成天线单元的辐射性能。该喇叭天线的加工综合运用MEMS干法刻蚀和湿法腐蚀两种工艺，其结构包括棱锥形喇叭背腔和八角形喇叭前腔两部分组成，在可实现的MEMS工艺下，具有可调参数多的优点。经运用有限元法建模分析，该集成喇叭结构能够很好地改善平面集成天线的辐射性能，并可通过设计参数的综合选择，得到满足应用需求的高性能天线单元。