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强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针进行了氟基射频等离子体电子密度的测量，并在氟一氧基等离子体中进行了多晶硅表面干法制绒研究。
氟基等离子体诊断以及在多晶硅太阳能电池制绒中应用研究
【摘 要】
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强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室,苏州215006
【出 处】
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第十五届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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2011年8期
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