掺杂氧化锌(ZnO)薄膜的特性与应用研究进展

来源 :2009云南省研究生学术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangxingyu2009
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氧化锌由于具有优异的光电、压电和宽带隙等性能,在功能器件的研制及应用中具有重要的地位。尤其掺杂后的氧化锌薄膜制备的器件应用领域更加广泛。本文概述了氧化锌薄膜材料的结构和特性,对金属和金属氧化物掺杂氧化锌薄膜的特性及应用进行了综述.
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