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同轴介质阻挡放电装置是产生低温等离子体的一种有效方式,并且所产生的等离子体可以被很好地利用。本文介绍了一种同轴介质阻挡放电装置,并对其在不同气体、不同气压、不同频率、不同气体流速等情况下的放电特性进行了一系列的研究。实验证实氦气比氩气和空气放电更加均匀。气体的起始放电电压与阳极电源的频率基本无关,与气压值和气隙距离的关系满足帕申曲线中所示的规律,而与气体的流速呈现出“U”型曲线。