【摘 要】
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随着超大规模集成电路的快速发展,市场急需具有超低介电常数、高力学强度及高玻璃化转变温度、热稳定性好的介电材料。本文通过合成具有笼型中空结构的苯并噁嗪基倍半硅氧烷B
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随着超大规模集成电路的快速发展,市场急需具有超低介电常数、高力学强度及高玻璃化转变温度、热稳定性好的介电材料。本文通过合成具有笼型中空结构的苯并噁嗪基倍半硅氧烷BZPOSS,并将其与苯并噁嗪/氰酸酯共混体系按不同比例共混后,经固化制备得到纳米多孔复合材料。DMA测试表明,由于BZPOSS本身为刚性粒子,共聚物的室温储能模量随BZPOSS的增多而逐渐增大。同时随着BZPOSS添加量的增大,共聚物的Tg先增大后不变,这是因为BZPOSS的加入,增加了新的交联点,但随着BZPOSS的增多,体系粘度增大,限制了共聚反应的发生。介电性能测试表明,苯并噁嗪/氰酸酯共聚物的介电常数随BZPOSS加入量的增大呈下降趋势,当添加量为9 wt%时,介电常数最低为2.88。但随着BZPOSS的增多,共聚物交联密度增大,阻碍了链段的运动,因此介电损耗逐渐增大。
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