【摘 要】
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基于声流原理设计了一种超声流微泵.采用直接流法计算得到了微泵体内的声流速度矢量图,在振动位移0.1um,驱动频率1MHz时出口平均速度达到4.87mm/s.研究了超声流微泵出口平均
【机 构】
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山东大学控制科学与工程学院 济南 250061
【出 处】
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第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会
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基于声流原理设计了一种超声流微泵.采用直接流法计算得到了微泵体内的声流速度矢量图,在振动位移0.1um,驱动频率1MHz时出口平均速度达到4.87mm/s.研究了超声流微泵出口平均速度与振动位移和驱动频率之间的关系,发现出口平均速度与振动位移的平方以及驱动频率的平方近似成正比.分析了流体动力粘度对出口平均速度的影响,发现粘度较小时出口平均速度基本不变,粘度超过10-4Pa-s后,出口平均速度随粘度的增加而减小.最后模拟了出口背压对出口平均速度的影响,设计的超声流微泵最大背压为135Pa左右.
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