基于复合处理技术CrN基固体自润滑复合膜的原位合成与摩擦学性能研究

来源 :第四届高能束加工技术国际学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxfei23
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采用磁控溅射与低温离子渗硫复合处理工艺原位制备了CrN基固体自润滑复合膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱仪(AES)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等方法对复合膜的显微组织进行了分析,结果表明,CrN基固体自润滑复合膜中含有Cr、Mo、N、S元素,主要相结构为CrN和MoS2,及少量氧化物;S元素渗入深度约500nm,分析结果表明Cr-Mo-N膜渗硫处理后,渗硫层中主要合成了MoS2润滑相,同时,通过比较不同封存试样方式,深入分析了渗硫层中氧元素的来源,并对CrN基固体自润滑复合膜的成膜机理进行了探讨.在室温油润滑条件下在CrN基固体自润滑复合膜的摩擦系数低于Cr-Mo-N膜,然后对CrN基固体自润滑复合膜的润滑机理进行了分析.
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