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计算机以真空器件内的真空度为判据,对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程。计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。
计算机在真空排气中的应用
【摘 要】
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计算机以真空器件内的真空度为判据,对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程。计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所;
【发表日期】
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2004年期
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