【摘 要】
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硅基光互联中一个重要的组成部分就是高速的硅基探测器,而锗探测器具有与硅基COMS工艺兼容、响应波段覆盖通信波段、有着良好的电学性能等优势,成为目前制备硅基集成光电探测器的重要方案之一.利用分子束外延生长高质量Ge薄膜,制备了硅基集成锗PIN探测器,测试到了器件的IV曲线和光响应特性.
【机 构】
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武汉光电国家实验室,华中科技大学,武汉
【出 处】
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第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
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硅基光互联中一个重要的组成部分就是高速的硅基探测器,而锗探测器具有与硅基COMS工艺兼容、响应波段覆盖通信波段、有着良好的电学性能等优势,成为目前制备硅基集成光电探测器的重要方案之一.利用分子束外延生长高质量Ge薄膜,制备了硅基集成锗PIN探测器,测试到了器件的IV曲线和光响应特性.
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