论文部分内容阅读
本文根据MOCVD方法沉积复合氧化物薄膜时存在的问题，介绍一种采用液态先体的MOCVD新方法。该方法具有设备成本适中、对薄膜微观结构控制好、沉积效率较高等优点。
复合氧化物薄膜的金属有机物化学相沉积技术
【摘 要】
：
本文根据MOCVD方法沉积复合氧化物薄膜时存在的问题，介绍一种采用液态先体的MOCVD新方法。该方法具有设备成本适中、对薄膜微观结构控制好、沉积效率较高等优点。
【机 构】
：
西安工业大学，光电微系统研究所，西安，710032
【出 处】
：
TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
：
2007年期
其他文献
本文对脉冲偏压电弧离子镀基础问题进行了研究。结果表明，把脉冲偏压引入电弧离子镀工艺保持了其原有的高离化率、高沉积速率、成膜致密等优点，与传统的直流偏压相比，脉冲偏压引
油水混合物的光谱分析方法已经成为当前油水两相流测量的研究热点.然而,传统的油水混合物光谱分析中,一般是通过主成分分析、连续投影算法等降维技术实现其光谱特征提取,所提
本文探讨了纳米多层膜的调制结构及其电学与力学性能的尺寸效应、铜互连膜基体系自对准CuSiN层的微结构及性能表征与薄膜表面多尺度动态演化行为。
本文结合新型透明导电氧化物薄膜和透明氧/硫化物半导体薄膜研究工作中的阶段性结果，介绍了当前TCO/TOS薄膜的研究状况和发展趋势。
航天器作为一类集合结构、热控、电源、姿轨控等的复杂系统,遥测数据是地面判断其在轨性能的唯一依据,而有效的异常检测是保证航天器在轨可靠运行的基础要素.针对遥测数据连
飞机钣金件成形后需要进行喷漆处理,大量不同种类钣金件共同批量喷漆后的分类识别一直以来依靠人工完成,是一项繁琐而困难的工作。提出了一种基于图像的飞机钣金件跨粒度识别方法来应对这个难题,设计了一套专门的图像采集平台,可以对钣金件正面及侧面两个角度进行拍摄,样本图像以及由形状因子和不变矩构成的10维特征向量数据一起保存至样本数据库中,以备识别时使用。根据钣金件种类繁多、高相似度钣金件成组存在的特点,设计
本研究进行了了压电/压磁声学学超晶格的理论和实验。研究发现，同一个超晶格可以实现两个谐振频率声波的激发，这两个频率分别对应于电场激发的纵振动和磁场激发的横振动，当周期
恒流恒压源是电工电子实验室必备的电源之一,也是电工电子产品研发试验中经常使用的电源,这里介绍的一款恒流恒压电源以常用的数子电路、运算放大器组成,用按键对电压或电流
对于智能故障诊断方法,大量有标签数据是实现智能模型训练的必要条件,但该条件在部分工业应用场景下难以满足.难以采集足够有标签数据,尤其是故障状态下的数据,在一定程度上