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卷对卷蓝膜溅射设备的研制
卷对卷蓝膜溅射设备的研制
来源 :2012年中国太阳能热利用行业年会暨太阳能光热产业发展二十年纪念会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:loving_tiger
【摘 要】
:
蓝膜一太阳光谱选择性吸收涂层,本文针对生产蓝膜的卷对卷镀膜设备在沉积构成蓝膜膜系一吸收、减反(光学干涉)、精确控制、性能优良等方面的要求,介绍了卷对卷蓝膜溅射设备
【作 者】
:
威海金博新能源科技有限公司
【出 处】
:
2012年中国太阳能热利用行业年会暨太阳能光热产业发展二十年纪念会
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
卷对卷
蓝膜
溅射设备
光谱选择性吸收涂层
产品性能
精确控制
光学干涉
镀膜设备
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蓝膜一太阳光谱选择性吸收涂层,本文针对生产蓝膜的卷对卷镀膜设备在沉积构成蓝膜膜系一吸收、减反(光学干涉)、精确控制、性能优良等方面的要求,介绍了卷对卷蓝膜溅射设备真空室、抽气系统、传输系统等结构的配置,探讨了其蓝膜产品性能。
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