【摘 要】
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掠入射X射线反射技术是纳米单层或多层膜结构表征的重要方法之一,该方法可获得纳米尺度单层或多层薄膜厚度、表面和界面平均粗糙度以及密度等相关参数.本文采用该方法测量10nm-100nm膜厚的Si/SiO2薄膜厚度、内部不同层界面粗糙度及密度,并与高分辨透射电镜方法进行了比较.通过国际比对证明了掠入射X射线反射测量纳米尺度膜厚的准确性,量值与国际等效.
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100029 中国计量科学研究院,北京100029;太原理工大学表面工程研
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掠入射X射线反射技术是纳米单层或多层膜结构表征的重要方法之一,该方法可获得纳米尺度单层或多层薄膜厚度、表面和界面平均粗糙度以及密度等相关参数.本文采用该方法测量10nm-100nm膜厚的Si/SiO2薄膜厚度、内部不同层界面粗糙度及密度,并与高分辨透射电镜方法进行了比较.通过国际比对证明了掠入射X射线反射测量纳米尺度膜厚的准确性,量值与国际等效.
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