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太赫兹散射在无损检测与揭示目标细微结构特征方面具有独特优势。基于高频近似的电磁计算方法，研究了不同表面结构特征的圆柱导体太赫兹散射特性。对于表面具有细小刻痕的圆柱，通过雷达成像可以清晰的观测到刻痕形成的散射点图像，对于具有周期粗糙表面的圆柱，在一些斜视角下可以看到其雷达成像结果为一条斜线，最后指出这些细微散射特征对于太赫兹目标识别具有重要意义。