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会议论文
平面度干涉仪
平面度干涉仪
来源 :中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wumingxiaoziwoaini
【摘 要】
:
平面度干涉仪采用压电晶体驱动参考镜实现移相干涉测量中的相位调制,图像采集系统采集多幅干涉图像按照相位偏移算法求得被测平面与参考平面的相位差值。还通过误差分离技
【作 者】
:
刘梦夏
马晓苏
刘砚秋
张鑫
【机 构】
:
中航工业计量所,北京 100095
【出 处】
:
中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会
【发表日期】
:
2011年期
【关键词】
:
平面度
误差分离技术
相位调制
图像采集系统
测量不确定度
压电晶体
偏移算法
干涉图像
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平面度干涉仪采用压电晶体驱动参考镜实现移相干涉测量中的相位调制,图像采集系统采集多幅干涉图像按照相位偏移算法求得被测平面与参考平面的相位差值。还通过误差分离技术将系统误差分离,保证了整套标准装置达到λ/50的测量不确定度指标。
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