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本文采用RF-PCVD法,利用TiCl4高温气相氧化制备出了平均粒径30～50nm的TiO2微晶颗粒。用TEM、XRD等手段研究了工艺条件和掺杂晶型转化剂等对TiO2纳米粉晶体结构、粒径及分布的影响。
RF-PCVD法纳米TiO2的制备及其应用
【摘 要】
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本文采用RF-PCVD法,利用TiCl4高温气相氧化制备出了平均粒径30～50nm的TiO2微晶颗粒。用TEM、XRD等手段研究了工艺条件和掺杂晶型转化剂等对TiO2纳米粉晶体结构、粒径及分
【机 构】
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太原理工大学洁净化工研究所,山西,太原,030024
【出 处】
：
2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会
【发表日期】
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2005年期
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