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本课题组与中国电子科技集团第十三研究所合作,采用数模混合的ASIC电路等技术,自主研制出了国内第一款芯片式硅微机械陀螺。芯片式硅微机械陀螺采用基于锁相环的闭环驱动和sigma-delta闭环检测,实现了陀螺输出的数字化。为了减小温度误差对芯片式硅微机械陀螺性能的影响、提高精度,必须进行必要的温控或温度补偿措施。通过实验表明,芯片式硅微机械陀螺的零偏在整个工作温度范围内,随着温度的升高逐渐降低,但是并不完全满足线性关系,同样标度因数也是随着温度升高,逐渐降低,在整个温度范围内基本满足线性关系。