【摘 要】
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水分压是影响低氟金属有机物沉积法(Metal-OrganicDeposition,MOD)制备BaTiO3掺杂YBa2Cu3O7-x膜超导性能的重要因素之一.我们在不同的水分压下(4.2,7.4,12.3,19.9KPa)制
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京100190
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水分压是影响低氟金属有机物沉积法(Metal-OrganicDeposition,MOD)制备BaTiO3掺杂YBa2Cu3O7-x膜超导性能的重要因素之一.我们在不同的水分压下(4.2,7.4,12.3,19.9KPa)制备了一系列的超导薄膜.结果表明：水分压为4.2KPa和7.4KPa时,均可获得具有优良织构和较高临界电流密度的YBCO外延薄膜；当水分压升至12.3KPa时,YBCO薄膜表面出现褶皱和裂纹,临界电流密度急剧下降；水分压达19.9KPa时,超导膜表面裂纹严重,部分薄膜失去超导性能.SEM观察表明：过高的水分压下会出现较多的a轴取向晶粒.
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