【摘 要】
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表面物理化学S TM、XPS、UPS、LEED等工艺的发展,给超高真空系统的真空获得设备带来了越来越多的挑战,本文结合安捷伦在国内外同行业的经验,介绍了真空获得设备的一些最新发
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表面物理化学S TM、XPS、UPS、LEED等工艺的发展,给超高真空系统的真空获得设备带来了越来越多的挑战,本文结合安捷伦在国内外同行业的经验,介绍了真空获得设备的一些最新发展,主要有以下几点:1.超高的极限真空。通过使用对惰性气体有稳定抽速的超高真空离子泵,结合自动可调高压的控制器,保证离子泵在不同真空度下均可发挥最优性能,以快速达到超高的极限真空;2.高可靠性。长寿命的离子泵,最新分子泵浮动支撑技术和新一代全密封干式前级泵,是真空系统长期可靠稳定运转的关键;3.用户界面友好,环境友好。自动化程度的提高要求真空获得设备可以方便的控制,变压、变频等抽速调节手段也应用的越来越广泛;最新的全干式真空系统方案可以做到低噪音,无油雾排放,无废油,对环境友好的同时也为操作人员提供了良好的工作环境;
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