磁场结构对Φ300mm直拉单晶硅碳浓度的影响

来源 :第一届无网格粒子类方法进展与应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hz9466894
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  碳是直拉单晶硅中非常重要的有害非金属杂质之一,若晶体生长过程中引入碳,会促进氧沉淀和sic析出相的生成,导致晶体内应力增加,从而影响单晶硅的品质。熔体内的碳杂质主要来源于炉内热场材料在高温时与氧的反应,其在熔体中的分布与熔体对流行为有着密切的关系。
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