【摘 要】
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The competition between the adhesive force and the beam restoring force determines the stiction shape of a microbeam.The presence of residual stress changes the beam stiffness and thus leads to the ch
【机 构】
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State Key Laboratory of Nonlinear Mechanics,Institute of Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Beiji
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The competition between the adhesive force and the beam restoring force determines the stiction shape of a microbeam.The presence of residual stress changes the beam stiffness and thus leads to the change of the beam restoring force.This study presents a model of incorporating the residual stress effect for the beam stiction.
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