【摘 要】
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为满足研制高超声速风洞应用的摩阻传感器需要,设计一种基于浮动元件直接测量的MEMS 摩阻传感器缺乏数据参考.利用数值模拟对平板模型测量载荷预测,并对浮动元件移动间隙
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心,四川绵阳621000
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为满足研制高超声速风洞应用的摩阻传感器需要,设计一种基于浮动元件直接测量的MEMS 摩阻传感器缺乏数据参考.利用数值模拟对平板模型测量载荷预测,并对浮动元件移动间隙、安装平齐度误差等对摩阻测量的影响进行研究.结果表明：在该数值模拟来流条件下,设置传感器测量载荷为100Pa,传感器移动间隙大小应控制在0.15mm 以内,避免浮动元件下凹深度超过0.1mm,严格控制浮动元件凸起形成逆向台阶,否则将对摩阻测量造成严重影响.此研究结果为新型MEMS 摩阻传感器的研制提供参考依据.
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