【摘 要】
:
高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材.论文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况.在此基础上,重点介绍了国内外半导
【机 构】
:
中国建筑材料科学研究总院,石英与特种玻璃研究院,北京100024
论文部分内容阅读
高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材.论文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况.在此基础上,重点介绍了国内外半导体刻蚀用耐久性石英玻璃掺杂元素种类、含量、熔制工艺等制备技术,以及对刻蚀速率的影响.
其他文献
随着国家基础建设规模的日渐扩大,石料生产线建设的数量也在逐年增多,对于生产线建设的规范要求也在不断提升,原有不规范设计方法己经逐渐被市场淘汰,只有规范、环保的新型砂
为推进水泥行业数字化智能矿山建设,提高矿山管理水平,本文围绕数字化智能矿山建设背景,重点论述了海螺集团全椒公司数字化智能矿山的建设总体方案、建设内容、建设效果与策
上海山美重型矿山机械股份有限公司为世界水泥巨头拉法基设计年产150万吨的完整砂石骨料生产线.该生产线设计合理,使用给料机,颚式破碎机,反击式破碎机,立式冲击破碎机和圆振
因水泥行业的特点,体现在采矿等工程技术的应用不足,行业矿山多处于以产量为首位的管理阶段.近年来,国内主要的大型水泥集团在矿山的管理上,加大了工程机械设备的投入,现基本
2016年10月底,中联水泥时产500吨石灰石骨料生产线在山东平邑正式投产,实际产量达到600吨/小时,超出设计产量20%.该生产线由南京凯盛设计院总承包,山美提供全套高性能砂石骨料
随着中国经济飞速发展,基础设施建设和城镇化化进程的快速推进,中国的水泥行业也迅猛发展,水泥产量、装备制造、产线建设也飞跃式提高,水泥矿山的建设和管理水平进入一个全新
微晶玻璃因在玻璃相中均匀分布着细小的微晶相,其性能异于普通平板玻璃而具有硬度大、机械强度高、热稳定性强以及化学稳定性好等优点.因此,微晶玻璃得到了广泛的应用.本文以
对材料非晶形成与非晶化转变的理解一直是研究的难点.尽管关于非晶形成的判据有很多,例如由特征温度构建的组合参量、热力学参量、动力学参量、结构参量、电子特征等等,但对
贵州省都匀市七星棚户区边坡植被恢复工程的治理思路是1:1.25分级放坡,马道宽2米坡顶及马道设置截排水沟削坡后进行植被恢复。
系统研究了MgO-CaO-Al2O3-SiO2体系玻璃中碱土金属氧化物的相对含量对流变/析晶及其低温烧结行为的影响.结果表明:随R值(R=MgO/MgO+CaO)从0到1变化,低温区粘度(1012~109Pa·s)