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采用波长800 nm,脉冲宽度150 fs,脉冲重复率1 kHz 的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体 GaAs 材料上制备了直径 3μm 的4×4点阵。在加工速度为400 μm/s 的条件下,在 ZK6玻璃和 LaF2玻璃上制备了透射式衍射光栅,光栅常数分别为2.5μm 和5μm。