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本文概述了热释电焦平面器件的倒装互连,以及各工艺参数之间的关系,并介绍了倒装互连之前的关键工艺——铟(In)柱制备的改良方案.
热释电焦平面探测器倒装互连工艺研究
【摘 要】
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本文概述了热释电焦平面器件的倒装互连,以及各工艺参数之间的关系,并介绍了倒装互连之前的关键工艺——铟(In)柱制备的改良方案.
【机 构】
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昆明物理研究所(昆明)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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