应用于半导体制造的Z-PINCH等离子体EUV光源

来源 :2007中国电机工程学会高电压专委会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wslin001
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
等离子体极紫外(EUV)光源被公认为是最有前途的EUV光源,针对它的研究已经在全世界范围内展开了激烈的竞争。在实现极紫外光刻(EUVL)技术的过程中,应予以最优先考虑的问题是如何提高EUV光的输出功率。在Z箍缩等离子体EUV光源的发展过程中,氙气已被用作是诱发等离子体的目标靶。利用幅值为30kA,脉宽为100ns的脉冲电流来箍缩等离子体。利用针孔成像EUV 摄谱仪和EUV波段能量监测器来观测分析从Z箍缩等离子体发射出的EUV光。为了提高从输入电气能量到EUV 光辐射能量的转化效率,同时利用固态锡棒作为诱发等离子体放电的目标靶。实验分析证明转化效率高达1.5%。
其他文献
当带电设备发生电晕时,会伴随着辐射出紫外线。近年来,国外已研制出直接观察电气设备放电和电晕的紫外成像仪,并已成为国际上放电检测的主要方法之一。目前,国内的一些研究单位也开展了紫外检测的应用研究,输电线路设备异常电晕放电的紫外检测是其中的一项。本文对劣质绝缘子、污秽绝缘子的紫外检测功效进行了初步评估,讨论了影响紫外检测的各种因素;并对特高压试验基地施工过程中的检查、以及在青藏铁路电气设备中的实际应用
紧凑型线路在各地的投产运行对带电作业提出了急需解决的课题。由于紧凑型线路塔头尺寸紧凑,相间和相对地距离较小,对带电作业间距、组合间隙及作业人员进出高电位路径带来了较大的限制,本文对影响带电作业安全间距的诸因素进行了分析讨论,通过试验提出了针对不同过电压水平的紧凑型线路带电作业安全距离、绝缘工具最小有效长度和最小组合间隙。为确保作业人员的安全,本文分析研究了保护间隙的原理及设计原则,提出了500kV
进行了交流特高压输电线路带电作业安全防护用具与措施的研究,主要的研究内容包括:研制了交流特高压1000kV带电作业屏蔽服,并按照标准对屏蔽服的衣料和成品性能进行了测试,测试表明研制的屏蔽服满足带电作业安全防护要求;进行了登塔过程中人体不同部位电场强度和等电位时人体不同部位电场强度及流经人体电流的测量,进行了进入等电位拉弧试验和脉冲电流测量,并基于测量结果制订了带电作业时作业人员应穿戴全套屏蔽服,进
本文通过对湖州地区500kV输电线路近年来的检修和运行状况的分析,从铁塔、绝缘子、导线、地线等各个方面阐述了检修和巡视工作的重点和存在问题。由此,为我国500kV的输电线路的运行与检修工作提出一些建议和借鉴,同时,对兄弟供电公司线路检修单位的线路运检也提供了一些有参考价值的工作经验。在输电线路的安全、可靠运行方面具有非常重要的参考和借鉴价值。
随着agent技术的逐步发展,agent技术的一个分支,多agent技术(Multi-Agent System)已经逐步应用于二级电压控制。过去的模型中,agent与无功源均是一一对应,其中没有共享和交叉,这样对于系统大量缺失无功时,系统会过早进入紧急状态,增加了控制系统对电压变化的响应时间。引入资源共享后,基于混沌规则优化的多agent 系统对各agent掌管无功资源范围进行调整优化,单个age
随着鸟类数量的增加,其一些生活习性也给高压输电线路的安全运行带来越来越多的隐患,因此采取行之有效地防治,避免发生因鸟害造成的架空线路跳闸次数己成为线路安全运行的一项重要维护工作。在过去一段时间里,湖北电网在对输电线路的防鸟害工作开展了一些行之有效的防治工作,主要是各供电公司根据本地区鸟类活动的生活习性和鸟害特点展开:1.积极研制驱鸟器;2.积极采用各种防鸟害措施;3.选用大盘径绝缘子;4.编绘鸟害
经济的发展,社会要求确保供电的可靠性的同时,也要考虑输电设备对城市的美观影响,高压电缆由于其各种运行性能优越性,越来越多普及地使用在高压线路上,然而高压电缆近年受白蚁侵蚀的绝缘故障不断增多,严重影响电网安全稳定运行.本文针对东莞供电局110kV高压电缆的白蚁危害情况,分析白蚁选择电缆嚼食的原因,对高压电缆综合治理白蚁进行了一定的探讨。
运行在输电线路中的钢芯铝绞线,导线断裂的事故时有发生,为了准确分析出事故原因,本文引进钢芯铝绞线的节径比对其抗拉强度的影响的概念,对提高厂家产品质量、保证输电线路安全运行有一定的参考价值。
本文的目的是对大气压下用丝网薄膜实现均匀放电的可能性和基本特性进行一些研究。采用325#细不锈刚丝网和PET 薄膜,和近似Rogowskii电极的结构,在工频电压下基本实现了大气压下2mm空气中的均匀放电。用数字示波器对放电的电气特性进行了测量,用ICCD对发光图像进行了侧面和底面的高速摄影,二者均表明均匀放电不同于丝状放电。对获得均匀放电的主要因素也进行了一定的研究。
本文针对华北电力大学高压研究所研制的电力变压器UHF检测装置研制出一种新型皮秒级脉冲源,该脉冲源采用电池供电,体积小,为便携式,上升前沿为皮秒级,幅值达140V,适用于UHF检测装置的标定,取代老式的火花打火,以确切的波形和幅值为局部放电研究服务。通过与局放传感器所测波形的比较,校正传感器的测量系数,通过调整幅值测验变压器体内衰减的程度,为定位系统提供必要的幅值参考。