微光-电-机器件和系统的技术及其在光纤通信中的应用

来源 :全国第8次光纤通信暨第9届集成光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ybingh
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微光-电-机器件和系统(MOEMS)是集成光学及光电子集成发展中的新突破,能更充分显示出光集成器件和系统的固有特点,该文讨论MOEMS所应用的基本结构单元和主要微加工技术,列举几种用于光纤通信的MOEMS器件及其性能取得的最新进展。
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