【摘 要】
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随着移动电子产品的大规模普及,小型化成为电子器件发展的主要方向.电容器作为电子器件的重要组成之一,要实现小型化、高储能,则需要介电薄膜具备高的介电常数.因此,我们在铁
【机 构】
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浙江大学硅材料重点实验室,材料系,杭州,310027,中国
【出 处】
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第十五届全国电介质、材料与应用学术会议
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随着移动电子产品的大规模普及,小型化成为电子器件发展的主要方向.电容器作为电子器件的重要组成之一,要实现小型化、高储能,则需要介电薄膜具备高的介电常数.因此,我们在铁酸铋薄膜中引入纳米银颗粒,实现渗流效应,提高其介电常数,具有重要的研究意义.本课题以Bi(NO3)3·5H2O 为铋源,Fe(NO3)3·9H2O 为铁源,硝酸银为银源,浓硝酸为稳定剂,乙二醇为溶剂,柠檬酸为络合剂,配制Ag-Bi-Fe 先驱体溶胶,并利用浸渍提拉法,将溶胶先驱体涂覆在ITO 玻璃基板上,对薄膜进行热处理,反复进行涂覆-热处理过程,得到一定厚度的薄膜,最后进行退火.
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