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该文提出了一种压阻式加速度传感器结构。采用四梁结构，横向灵敏度比较小，灵敏度比较高，达到了14.67mv/g。是一种比较实用的传感器。
四悬臂梁压阻式加速度计的设计与制作
【摘 要】
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该文提出了一种压阻式加速度传感器结构。采用四梁结构，横向灵敏度比较小，灵敏度比较高，达到了14.67mv/g。是一种比较实用的传感器。
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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