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本文对厚、薄膜多层互连基板的发展进行了简单的分析,对基于LTCC基板的薄膜50Ω微带线的设计、制造、测试进行了介绍.结果表明LTCC基板表面实施薄膜工艺与厚膜工艺相比有利于获得更好的微波一致性.
基于LTCC基板的薄膜微带线制作技术
【摘 要】
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本文对厚、薄膜多层互连基板的发展进行了简单的分析,对基于LTCC基板的薄膜50Ω微带线的设计、制造、测试进行了介绍.结果表明LTCC基板表面实施薄膜工艺与厚膜工艺相比有利于
【机 构】
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南京电子技术研究所
【出 处】
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第十三届全国混合集成电路学术会议论文专辑
【发表日期】
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2003年10期
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