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集成电路版图场分割数据处理的研究

来源 :第六届全国电子束离子束光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：W200582166

【作 者】

：

胡咏梅 王绍钧 裘培勇 

【机 构】

：

山东工业大学

【出 处】

：

第六届全国电子束离子束光子束学术年会

【发表日期】

：

1991年期

【关键词】

：

集成电路版图 分割 

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