中芯国际是是世界领先的集成电路晶圆代工企业之一,也是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路晶圆代工企业,提供0.35微米到28纳米不同技术节点的晶圆代工与技术服务.14纳米FinFET工艺技术研发已开展三年多,今年获得国家02专项支持.研发基线建设顺利,工艺设备基本到位,近80％关键设备上线工作,40个工艺模块中超过1/3已完成设置；试验芯片工艺验证批TQV1如期完成流片,成功得到器件及SRAM电性结果；工艺设置进一步完善,通过多功函数金属栅实现4种不同阈值电压规格的器件,负光阻显影结合SMO(光源掩模联合优化)技术提升图形解析能力和工艺窗口,通过改进的铜互连阻挡层/籽晶层工艺(引入Co),改善金属线填充能力；器件电性及可靠性获得阶段性成果,核心器件性能提升超进度,N/PMOS达到80％/85％性能,首次成功演示了SRAM蝴蝶曲线,器件可靠性50％项目达到要求；设计平台建设按期进行,建立了基于标准图形的库单元可制造性提升方法,已完成0.1版PDK,0.5版PDK工作已开始.在国家02专项及863项目支持下,目前中芯国际在14纳米及14纳米以下技术代与国内高校和科研院所开展了广泛的产学研合作.